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殘余氣體分析四極質譜儀

Systems for the examination of components present in a vessel or evolved from a process. 

Measures the concentration of gases and vapours in real time.

英國Hiden公司的RGA Series殘余氣體分析四極質譜儀(Residual Gas Analysers),用于真空診斷和工藝工程的精確分析。 

RGA Series殘余氣體分析四極質譜儀包括HAL RGA 3F Series RGA3F-PIC三種規格水平。

 

·PPM靈敏度

·通過RS232USBEthernet連接計算機,MASsoft專業軟件控制 

·快速顯示柱狀圖、趨勢分析和信號峰 

·混合模式掃描-多個windows窗口顯示信息,例如趨勢、柱狀圖和信號峰 

·同步顯示數據圖,列表 

·同步背景扣除,自動質量數列表 

·數據輸出為ASCII格式,至windows設備 

·即時動態數據交換至其他DDE兼容的windows軟件,例如 ExcelSPC-IV統計過程控制軟件等 

 

·質量數范圍:   200300 amu

·掃描速度:      100amu/s

·最小掃描步階:0.01amu

·靈敏度:         0.1 ppm1ppm

·穩定性:         24h以上,峰高變化小于±0.5%

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